專注高端精密劃片機
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晶圓切割(即芯片)是芯片制造過程中不可或缺的過程,屬于晶圓制造的后一個過程。晶圓切割是將芯片的整個晶圓根據(jù)芯片的大小分成單個芯片(晶粒)。最早的晶圓用切片系統(tǒng)進行切割(劃片),這種方法以往占據(jù)了世界芯片切割市場的較大份額,特別是在非集成電路晶圓切割領(lǐng)域。鉆石鋸片(砂輪)切割方法是一種更常見的晶圓切割方法。新的切割方法是激光進行無切割處理。晶圓切割過程主要包括:貼膜、切割、解UV膠。將晶圓切割成單獨...
劃片機是集成電路器件切割和封裝的關(guān)鍵設(shè)備,其中砂輪劃片機是主流。在封裝過程中使用劃片機,可以將包含多個芯片的晶圓分割成芯片顆粒,實現(xiàn)芯片單顆化。其性能直接決定了芯片產(chǎn)品的質(zhì)量,分為砂輪劃片機和激光劃片機。編輯搜圖編輯搜圖編輯搜圖請點擊輸入圖片描述(最多18字)(1)砂輪劃片機:采用物理加工方式,利用專用刀片以0.1 ~ 400 mm/s的速度旋轉(zhuǎn),與代加工工件刮削切屑,通過切屑達到切割目的。(2)激光劃片機:采用高溫溶解...
IC的封裝,die只是封裝里頭的一小部分,同一規(guī)格封裝的芯片,根據(jù)集成電路功能的復(fù)雜程度而異,晶體管的數(shù)量不同,die的面積也有所不同,但同一規(guī)格封裝的芯片其中電路板上的占用面積是一致的。比如這顆DIP封裝的MCU,其die只有小指甲片大小。那為什么要對die進行封裝呢?集成電路封裝(英語:integrated circuit packaging),簡稱封裝,是處于半導(dǎo)體器件制造的最后階段,芯片加工完成后, 芯片在空氣中與各種雜質(zhì)接觸從而...
隨著終端電子產(chǎn)品往多功用化、智能化和小型化方向開展,芯片尺寸越做越小,留給晶圓劃片機的空間越來越小,既要保證足夠的良品率,又要確保加工效率,這對晶圓劃切刀片以及劃片工藝是不小的應(yīng)戰(zhàn)。從劃片刀自身的制造來看,影響刀片性能乃至影響晶圓劃片的幾個重要要素是:金剛石顆粒大小、顆粒集中度、分離劑強度、刀片厚度、刀片長度、修刀工藝。本文主要剖析這幾個要素的影響作用,協(xié)助大家合理選刀。金剛石顆粒大小的影響主要參...
我國半導(dǎo)體設(shè)備被“卡脖子”,除了在光刻機等晶圓制程設(shè)備上,在在半導(dǎo)體封裝劃片機設(shè)備領(lǐng)域,同樣也面臨著被國外企業(yè)壟斷,且國產(chǎn)化進程令人心憂的狀態(tài)。典型的半導(dǎo)體封裝工藝流程為:劃片、裝片、鍵合、塑封、去飛邊、電鍍、打印、切筋和成型 、外觀檢查、 廢品測試 、包裝出貨。與封裝流程對應(yīng)的,整個封裝設(shè)備包括切割減薄設(shè)備、劃片機、貼片機、固化設(shè)備、引線焊接/鍵合設(shè)備、塑封及切筋設(shè)備等。據(jù)中國國際招標(biāo)網(wǎng)數(shù)據(jù)統(tǒng)計,封...
晶圓經(jīng)過前道工序后芯片制備完成,還需要經(jīng)過切割使晶圓上的芯片分離下來,最后進行封裝。不同厚度晶圓選擇的晶圓切割工藝也不同:厚度100um以上的晶圓一般使用刀片切割;厚度不到100um的晶圓一般使用激光切割,激光切割可以減少剝落和裂紋的問題,但是在100um以上時,生產(chǎn)效率將大大降低;厚度不到30um的晶圓則使用等離子切割,等離子切割速度快,不會對晶圓表面造成損傷,從而提高良率,但是其工藝過程更為復(fù)雜;刀片切割(Blad...
劃片機的種類主要分為三種:分別是全自動劃片、半自動劃片(包含自動識別、 手動識別)、手動劃片。具體功能如下:全自動劃片:是指在完成加工物模板教學(xué)的前提下,設(shè)備將對工作臺上的加工物自動上料,自動識別,自動清洗,依據(jù)切割參數(shù)的設(shè)定,沿多個切割向連續(xù)地進行切割。半自動劃片:對工作臺上的加工物(確定切割位置)后,依據(jù)切割參數(shù)的設(shè)定,可進行自動識別或手動識別,沿多個切割向連續(xù)地進行切割。手動劃片:選擇一個切割向...
芯片是非常精密的零件,生產(chǎn)過程中任何機器設(shè)備都要求非常高的精度,如果用人工去切割芯片,做出來百分之百就是報廢品,不可能實現(xiàn)人工切割。芯片切割也是制造流程中一個重要的環(huán)節(jié),屬于后端的工序,將一整片晶圓通過機器分割成單個的晶片。 最早的方法是用劃片機器進行分割,也是現(xiàn)在主流的方法,像非集成電路的晶圓分割,就采用了金剛石砂輪來進行切割。晶圓的大部分材料都是由硅組成,這種物質(zhì)比較脆和硬,切割刀片上的鉆石顆粒...
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