專注高端精密劃片機
研發(fā)、生產(chǎn)、咨詢、銷售
氧化 氧化過程的作用是在晶圓表面形成保護膜。它可以保護晶圓不受化學(xué)雜質(zhì)影響、避免漏電流進入電路、預(yù)防離子植入過程中的擴散以及防止晶圓在刻蝕時滑脫。 氧化過程的第一步是去除雜質(zhì)和污染物,需要通過四步去除有機物、金屬等雜質(zhì)及蒸發(fā)殘留的水分。清潔完成后就可以將晶圓置于800至1200攝氏度的高溫環(huán)境下,通過氧氣或蒸氣在晶圓表面的流動形成二氧化硅(即“氧化物”)層。氧氣擴散通過氧化層與硅反應(yīng)形成不同厚度的氧化...
一、晶圓加工 所有半導(dǎo)體工藝都始于一粒沙子!因為沙子所含的硅是生產(chǎn)晶圓所需要的原材料。晶圓是將硅(Si)或砷化鎵(GaAs)制成的單晶柱體切割形成的圓薄片。要提取高純度的硅材料需要用到硅砂,一種二氧化硅含量高達95%的特殊材料,也是制作晶圓的主要原材料。晶圓加工就是制作獲取上述晶圓的過程。1、鑄錠 首先需將沙子加熱,分離其中的一氧化碳和硅,并不斷重復(fù)該過程直至獲得超高純度的電子級硅(EG-Si)。高純硅熔化成...
鉭酸鋰是重要的多功能晶體材料,具有壓電、介電、熱電、電光效應(yīng)、非線性光學(xué)效應(yīng)和聲光效應(yīng)等重要特性。鉭酸鋰晶圓的主要原料是高純度氧化鉭和碳酸鋰,它們是制作微波聲學(xué)器件的良好材料。鉭酸鋰晶圓,鉭酸鋰的直徑為100±0.2mm,厚度為0.2~0.25mm 。應(yīng)用:拋光LT芯片因其良好的機電耦合,廣泛用于制造諧振器、濾波器、傳感器等電子通信器件,尤其是高頻表面波器件,溫度系數(shù)等綜合性能,廣泛應(yīng)用于手機、對講機、衛(wèi)星通信、航...
晶圓劃片切割中,總會遇到各種情況,而最常見的就是工件的崩邊問題,崩邊包括:正崩,背崩,掉角及裂痕等。而有很多種不同因素都會導(dǎo)致崩邊的產(chǎn)生,比如工件表面情況、粘膜情況、冷卻水、刀片等。
公司創(chuàng)辦至今,一直將自主創(chuàng)新放在重要位置,并高度重視研發(fā)工作。2018年,國內(nèi)外主流6英寸劃片機一直采用同步帶、渦輪蝸桿等機械輔助傳動轉(zhuǎn)臺方案。經(jīng)過數(shù)月的調(diào)查和不斷的試驗,通過大量的數(shù)據(jù)積累和不斷的設(shè)計改進,博捷芯團隊成功地攻克了直驅(qū)電機轉(zhuǎn)角結(jié)構(gòu)方案,使轉(zhuǎn)角定位精度及穩(wěn)定性大幅度提高,一舉達到國際先進水平。在以公司精密劃片機型號LX-6366為代表(兼容6?12寸晶圓,雙頭切割,自動修復(fù)法蘭,CCD雙鏡頭,重復(fù)精...
博捷芯精密劃片機設(shè)備有多種類型:LX3252 6英寸精密劃片機、LX3352 12英寸精密劃片機、LX3356 8-12英寸兼容精密劃片機、LX6366全自動雙軸劃片機、LX6636全自動單軸劃片機。晶圓劃片機切割應(yīng)用行業(yè)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、miniLED、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。
LX3352系列精密切割機滿足各種劃切需求可用于加工最大邊長為300 mm的方形工作物(特殊選配)。該設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)配置了輸出功率為1.8 kW的主軸,還將高扭矩主軸(2.2 kW)作為特殊選配供用戶選擇,使用2.2 kW主軸,可裝配58mm或定制切割刀片,旋轉(zhuǎn)軸采用DD馬達驅(qū)動,采用進口超高精密滾柱型導(dǎo)軌和研磨級絲桿,雙鏡頭自動影像識別系統(tǒng),能夠?qū)杌螂y加工材料進行切割加工。另外,作為特殊選配,還增加了適用于多工作物的對準(zhǔn)功能。提...
精密劃片機是一種高精密設(shè)備,精度的穩(wěn)定性、使用的安全性及可靠性都與工作的環(huán)境、維護保養(yǎng)息息相關(guān)。1 、環(huán)境與外圍要求劃片機必須安裝在無振動源,室內(nèi)溫度為 20 、25 攝氏度的凈化間內(nèi),并配有氣源、水源、電源、排污口、抽霧裝置等。氣源要求是經(jīng)過過濾、冷凝、卜燥潔凈的壓縮空氣,壓力不低于 0 . 5 入 IPa ,過濾精度大于 0 . 01 " m ,露點一 15℃ 、除去油分 99 . 5 %。主軸冷卻水建議用去離子水,壓力不低于 0 ....
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