2023-03-25 0
半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造過(guò)程主要包括前道晶圓制造和后道封裝測(cè)試,隨著先進(jìn)封裝技術(shù)的浸透,呈現(xiàn)了介于晶圓制造和封裝之間的加工環(huán)節(jié),稱(chēng)為中道)。半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工工序多,在制造過(guò)程中需求大量的半導(dǎo)體設(shè)備。在這里,我們引見(jiàn)傳統(tǒng)封裝(后道)的八道工藝。
傳統(tǒng)封裝工藝大致能夠分為反面減薄、晶圓切割、晶圓貼裝、引線(xiàn)鍵合、塑封、激光打印、切筋成型和廢品測(cè)試等8個(gè)主要步驟。與IC晶圓制造(前道)相比,后道封裝相對(duì)簡(jiǎn)單,技術(shù)難度較低,對(duì)工藝環(huán)境、設(shè)備和資料的請(qǐng)求遠(yuǎn)低于晶圓制造。
反面減薄
由于制造工藝的請(qǐng)求,對(duì)晶片的尺寸精度、幾何精度、外表干凈度等都提出很高的請(qǐng)求,因而在幾百道工藝流程中只能采用一定厚度的晶片在工藝過(guò)程中傳送、流片。通常在集成電路封裝前,需求對(duì)晶圓反面多余的基體資料去除一定的厚度,這一過(guò)程稱(chēng)之為晶圓反面減薄工藝,對(duì)應(yīng)配備是晶圓減薄機(jī)。
晶圓切割
依據(jù)晶圓工藝制程及客戶(hù)的產(chǎn)品需求,一片晶圓通常由幾百至數(shù)萬(wàn)顆小芯片組成,業(yè)內(nèi)大局部晶圓上的Dice之間有著40um-100um不等的間隙辨別,此間隙被稱(chēng)為劃片街區(qū)(切割道)。而圓片上99%的芯片都具有獨(dú)立的性能模塊(1%為邊緣Dice,不具備運(yùn)用性能),為將小芯片別離成單顆Dice,就需采用切割的工藝停止切割別離,此工藝過(guò)程叫做晶圓切割。
晶圓貼裝
晶圓貼裝的目的將切割好的晶圓顆粒用銀膏粘貼在引線(xiàn)框架的晶圓廟上,用粘合劑將已切下來(lái)的芯片貼裝到引線(xiàn)框架的中間燥盤(pán)上。通常是環(huán)氧(或聚酰亞胺)用作為填充物以增加粘合劑的導(dǎo)熱性。
引線(xiàn)鍵合
引線(xiàn)鍵合的目的是將晶圓上的鍵合壓點(diǎn)用極細(xì)的金線(xiàn)銜接到引線(xiàn)框架上的內(nèi)引腳上,使得晶圓的電路銜接到引腳。通常運(yùn)用金線(xiàn)的一端燒成小球,再將小球鍵合在第一焊點(diǎn)。然后依照設(shè)置好的程序拉金線(xiàn),將金線(xiàn)鍵合在第二焊點(diǎn)上。
塑封
將完成引線(xiàn)鍵合的芯片與引線(xiàn)框架置于模腔中,再注入塑封化合物環(huán)氧樹(shù)脂用于包裹住晶圓和引線(xiàn)框架上的金線(xiàn)。這是為了維護(hù)晶圓元件和金線(xiàn)。塑封的過(guò)程分為加熱注塑、成型兩個(gè)階段。塑封的目的主要是:維護(hù)元件不受損壞;避免氣體氧化內(nèi)部芯片;保證產(chǎn)品運(yùn)用平安和穩(wěn)定。
激光打印
激光打印是用激光射線(xiàn)的方式在塑封膠外表打印標(biāo)識(shí)和數(shù)碼。包括制造商的信息,器件代碼,封裝日期,能夠作為辨認(rèn)和可追溯性。
切筋成型
將原來(lái)銜接在一同的引線(xiàn)框架外管腳切斷別離,并將其彎曲成設(shè)計(jì)的外形,但不能毀壞環(huán)氧樹(shù)脂密封狀態(tài),并防止引腳扭曲變形,將切割好的產(chǎn)品裝入料管或托盤(pán)便于轉(zhuǎn)運(yùn)。
廢品測(cè)試
檢測(cè)產(chǎn)品的外觀能否能契合設(shè)計(jì)和規(guī)范。常見(jiàn)的的測(cè)試項(xiàng)目包括:引腳平整性、共面性,引腳間的腳距,塑封體能否損傷、電性能及其它功用測(cè)試等。
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