晶圓切割機(jī)如何選用切割刀對(duì)崩邊好

2023-05-19 0

晶圓切割機(jī)在切割晶圓時(shí)，崩邊是一種常見的切割缺陷，影響切割質(zhì)量和生產(chǎn)效率。要選用合適的切割刀以減少崩邊，可以考慮以下幾點(diǎn)：

晶圓劃片機(jī)

根據(jù)晶圓尺寸和切割要求，選擇合適的金剛石顆粒尺寸和濃度的切割刀。金剛石顆粒越大，切割能力越強(qiáng)，但同時(shí)對(duì)切割面的沖擊力也較大。
刀片表面的光潔度和平整度對(duì)崩邊的產(chǎn)生有很大的影響。使用干凈、平整的刀片表面可以減少崩邊的產(chǎn)生。
切割過程中，刀片和晶圓之間的距離和角度也會(huì)影響崩邊的產(chǎn)生。合適的距離和角度可以使金剛石顆粒在切割過程中產(chǎn)生最大的切割力，從而減少崩邊的產(chǎn)生。
切割溫度和壓力也會(huì)影響崩邊的產(chǎn)生。過高或過低的溫度和壓力會(huì)使晶圓變形或破裂，從而導(dǎo)致崩邊的產(chǎn)生。
刀片的安裝精度和平衡度也會(huì)影響崩邊的產(chǎn)生。刀片安裝傾斜或不平衡會(huì)使金剛石顆粒在切割過程中產(chǎn)生不必要的振動(dòng)和沖擊，從而增加崩邊的產(chǎn)生風(fēng)險(xiǎn)。